隨著功能性薄膜在新型顯示、新能源電池等領域的深度應用,終端產(chǎn)品對長期可靠性的要求提升,薄膜材料必須滿足優(yōu)異的表面潤濕性、物理化學性能穩(wěn)定以及表面潔凈度高等需求。然而,基材表面惰性、...
等離子清洗技術作為一種干式、環(huán)保的表面處理工藝,在工業(yè)制造中發(fā)揮著重要作用。其通過等離子體與材料表面的物理化學反應,實現(xiàn)清潔、活化和改性效果。
在封裝行業(yè)中,等離子清洗是一種先進的清洗技術,它可以通過改性表面,增強粘合、去除污染物,增強表面附著力、增強產(chǎn)品的質(zhì)量、提高良率、降低成本和提高生產(chǎn)效率等方面,為封裝過程提供更好的環(huán)境和條件。
通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)進行氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質(zhì),...
晟鼎等離子去膠機廣泛應用于半導體制造、MEMS器件、光電子元件、先進封裝等高科技領域的表面去膠、活化及表面處理等關鍵工藝。
傳統(tǒng)濕法去膠在面對復雜三維結(jié)構、敏感材料和嚴苛尺度時局限性凸顯,而等離子干法去膠技術利用高能等離子體去除光刻膠,去膠徹底且速度快,無需引入化學物質(zhì),避免造成材料損傷,已逐漸成為先進封裝工藝鏈中不可替代的核心制程。
等離子清洗機(plasma cleaner),利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離...