所屬分類(lèi)：USC干式超聲波除塵
快速清除表面浮塵顆粒，3μm塵粒97%的清除率，6μm塵粒98%的清除率。
超聲波干式除塵設(shè)備(Ultrasonic Dry Cleaner)，通過(guò)鼓風(fēng)機(jī)，給除塵頭的超聲波發(fā)生腔提供8-16Kpa的潔凈氣體，氣體通過(guò)超聲波發(fā)生器產(chǎn)生超聲波，利用超聲波傳播的能量及振動(dòng)，使塵粒克服玻璃基板表面的粘附力，以拉升、滾動(dòng)及滑動(dòng)三種運(yùn)動(dòng)方式(單一或混合）從玻璃基板表面脫離，使得塵粒從玻璃基板表面分離出來(lái)。
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